- Titel
- Elektronenspektroskopie und Faktoranalyse zur Untersuchung von ionenbeschossenen Metall (Re, Ir, Cr, Fe)-Silizium-Schichten
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:swb:14-994160101234-34968
- Datum der Einreichung
- 30.07.1999
- Datum der Verteidigung
- 07.02.2000
- Freie Schlagwörter (DE)
- Augerelektronenspektroskopie (AES), Augerparameter, Chrom, Defektgenerierung, Eisen, Eisenimplantation, Ionenbeschuß, Konversionselektronen-Mößbauerspektroskopie (CEMS), Konzentrations- und Phasenzusammensetzung im Nanometerbereich, Konzentrationsprofile,
- Freie Schlagwörter (EN)
- Auger electron spectroscopy (AES), Photoelectron spectroscopy (XPS), QUASES, Re-Si band structure, atomic concentration and phase composition in regions of a few nanometer thickness, conversion electron Moessbauer spectroscopy (CEMS), defect generation, d
- Klassifikation (DDC)
- 29
- Klassifikation (RVK)
- UP 9300
- Normschlagwörter (GND)
- Elektronenspektroskopie, Faktorenanalyse, Ionenbestrahlung, Mehrschichtsystem, Metall, Silicium
- GutachterIn
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Klaus Wetzig
- Prof. Dr. rer. nat. habil. R. Szargan
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Wolfhard Möller
- BetreuerIn
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Klaus Wetzig
- Verlag
- Technische Universität Dresden, Dresden
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:swb:14-994160101234-34968
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 29.01.2000
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch
- Lizenz / Rechtehinweis
